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生產(chǎn)集成電路芯片需要高度專業(yè)化的設(shè)備,可在多重苛刻環(huán)境下工作,如:????????
●?真空環(huán)境下的等離子;
●?高溫;
●?與高度研磨液接觸;
●?暴露于多種高腐蝕性化學(xué)品。
優(yōu)勢
●?準確復(fù)制全球任何地區(qū)可用的材料
●?廣泛的材料選擇、工程支持和測試能力
●?機加工能力,支持仿真系統(tǒng)NPI應(yīng)用發(fā)展
●?材料組合最為廣泛,專設(shè)計用于濕制程工具
●?CMP環(huán)材料的全球一流制造商,包括Techtron? PPS(全球標準CMP應(yīng)用)
●?用于刻蝕、CVD和離子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能
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