Semitron? 半導(dǎo)體級產(chǎn)品的研發(fā)，是為了幫助設(shè)計者和使用客戶來優(yōu)化元件制造設(shè)備的性能。另外，在元件制造時，涉及到要求高耐磨、耐化學(xué)和抗靜電的特殊應(yīng)用，Semitron? 半導(dǎo)體級產(chǎn)品都是理想選材，承圖塑料代理進(jìn)口。

Semitron?主要分兩個系列，分別適用于元件操作和測試過程，以及下一代CMP制程。

Semitron? 半導(dǎo)體級產(chǎn)品

Semitron?產(chǎn)品系列，承圖塑料整理；

• Semitron? MP 370

• Semitron? MDS 100

• Semitron? ESd 225

• Semitron? ESd 410C

• Semitron? ESd 420

• Semitron? ESd 420V

• Semitron? ESd 480

• Semitron? ESd 490HR

• Semitron? ESd 500HR

• Semitron? ESd 520HR

• Semitron? CMP LL5

• Semitron? CMP XL 20

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數(shù)據(jù)；

表4.5

表面電阻率

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Semitron MP 370

Semitron MP 370材料用在半導(dǎo)體制造行業(yè)，為精密測試座（socket）的設(shè)計和制作提供了更多選擇性。Semitron MP 370不僅有PEEK固有的極好吸濕性和耐高溫性，而且具有更高的強度和尺寸穩(wěn)定性。因這款訂制配方材料的機加工性能卓越，因此可以做到更為精細(xì)和干凈地加工。

·???????? 極低的吸濕性

·???????? 優(yōu)秀的機加工性能，可實現(xiàn)極小而緊密的孔模

·???????? 強度和剛度超越了未填充的PEEK材料

·???????? 內(nèi)應(yīng)力低和無模塑坯件的'軟心'問題

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Semitron MDS 100

Semitron MDS 100非常好地綜合了強度、剛度和穩(wěn)定性的特性。它的開發(fā)旨在用于不受控制或者高精密度要求的應(yīng)用場合。Semitron MDS 100是半導(dǎo)體測試座（socket）、嵌套（nest）、夾具和封裝設(shè)備的理想選材。

·???????? 24小時只有0.10% 的吸濕率（ASTM D570）

·???????? 耐溫至210°C

·???????? 彈性模量 > 1,400,000 psi

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抗靜電聚甲醛POM

Semitron ESd 225

Semitron ESd 225是硬盤驅(qū)動器制造過程中所用夾具的理想選材；也是硅晶圓工藝操作時的理想選材。它的顏色為褐色。

·???????? 表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

·???????? 耐溫至107°C

·???????? 良好的耐磨性能

應(yīng)用案例：

晶圓梳

由Semitron? ESd 225機械加工而成的晶圓梳，解決了傳送設(shè)備產(chǎn)生的靜電問題，該問題曾導(dǎo)致每年上百萬美元的晶片損失。（替代先前材料：尼龍、標(biāo)準(zhǔn)聚甲醛）

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抗靜電PEI

Semitron ESd 410C

Semitron ESd 410C用在芯片檢測制程中操作芯片，使其通過檢測設(shè)備。它的顏色為黑色，不透明。

·???????? 表面電阻率：104 - 106 ohms/sq.

·???????? 耐熱至210°C

·???????? 應(yīng)力低，緊公差加工適用

·???????? 較高的強度和剛度

應(yīng)用案例；

操作托盤

Semitron? ESd 410C 加工而成的托盤，具有可靠的抗靜電性能，尺寸穩(wěn)定。（替代先前材料：PPS、PEEK、Vespel? PI）

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Semitron ESd 420

Semitron ESd 420是唯一一款真正可用于高溫環(huán)境的抗靜電塑料產(chǎn)品。

·???????? 表面電阻率：106 - 109 ohms/sq.

·???????? 熱性能好

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Semitron ESd 420V

Semitron ESd 420V的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq 。它是一種堅硬、高強度的材料，暴露在潮濕環(huán)境中，不會發(fā)生尺寸變化。在對熱性能要求不是超高的情況下，Semitron ESd 420V是一款高性價比的替代選材。

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抗靜電PEEK

Semitron ESd 480

此款抗靜電PEEK的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸穩(wěn)定性非常高，因此成為臨界測試夾具的理想選材。它的耐化學(xué)性絕佳，極適用作晶片傳送，和濕制程用工具的結(jié)構(gòu)件，而這些應(yīng)用中，靜電耗散也是非常重要的。作為跨駿Semitron ESd 材料，Semitron ESd480容易被介電擊穿。（參見本頁的注意事項。）

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Semitron ESd 490HR

具有稍高電阻率的PEEK材料，其物理性能與Semitron ESd 480相似。

·???????? 表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

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抗靜電PTFE

Semitron ESd 500HR

采用專有合成云母增強，Semitron ESd 500HR提供了絕佳的低摩擦特性和尺寸穩(wěn)定性。凡是使用 PTFE的場合，都可考慮Semitron ESd 500HR 。用于控制靜電排放時，它是理想的選材。顏色為白色。

·???????? 表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

·???????? 熱至260°C

·???????? 隔熱

·???????? 極低的摩擦系數(shù)

·???????? 可耐化學(xué)品廣泛

應(yīng)用案例；

插件

由Semitron ESd 500HR板材加工而的抗靜電插件，降低了敏感元件因靜電排放而導(dǎo)致的損壞。（先前材料：陶瓷）

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抗靜電PAI

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Semitron ESd 520HR

Semitron ESd 520HR是行業(yè)內(nèi)第一款集靜電耗散(ESd)、高強度和耐熱性于一體的材料。該種新型的ESd材料用在測試設(shè)備上，是加工嵌套（nest）、測試座（socket）和接觸器（contactor）的理想選材，也是其他元件操作部件的理想選材。520HR在高壓（>100V）下能抗介質(zhì)擊穿，這是它的獨特及關(guān)鍵特性。下圖呈現(xiàn)的是：通常用在自動測試分類機上，塑料材料表現(xiàn)的電性能。甚至只是暴露于中等電壓下，傳統(tǒng)碳纖維增強產(chǎn)品的導(dǎo)電性也呈現(xiàn)不可逆轉(zhuǎn)的增強。

在機械性能都可以勝任的情況下，只有Semitron ESd 520HR在整個電壓范圍內(nèi)能夠維持其電性能。

表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

應(yīng)用案例；

IC元件測試夾具

由于集靜電耗散(ESD)和高機械強度于一身，最近一家測試夾具制造商將Semitron ESd 520HR用于加工集成電路測試頭。Semitron ESd 520HR的機械強度高，因此可延長測試頭的使用壽命，同時，增大每小時的測試單元。

Semitron ESd 520HR用于測試嵌套（nest）、測試座（socket）和接觸器（contactor）時，是第一款在抗靜電性能和所有機械性能上都能滿足要求的產(chǎn)品，因此非?？煽?。它的抗靜電性能（表面電阻率為1010 到 1012 ohms/sq.）足夠最小化漏電（leakage）風(fēng)險。Semitron ESd 520HR在電壓高于100伏時，還能保持其電阻率，這點也極為重要。

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Semitron? CMP材料

Semitron CMP LL5

Semitron CMP產(chǎn)品系列的研發(fā)，為新工具設(shè)計者和具有遠(yuǎn)大目光的終端使用者提供了這樣的機會——增加單個晶圓可生產(chǎn)芯片的成功率，同時降低了每個芯片的生產(chǎn)成本。

CMP優(yōu)化的PET-P

Semitron CMP LL5屬于下一代材料，專為盡可能大幅度提高CMP工具的性能而研發(fā)。它的顏色為白色，不透明。

·???????? 超長壽命材料--5倍于 PPS

·???????? 在CMP應(yīng)用場合，溫度達(dá)到 60°C?時的理想選材

·???????? 氧化化學(xué)反應(yīng)中性能最佳--8倍于 PPS

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Semitron CMP XL20

CMP優(yōu)化的PAI

Semitron CMP XL20是由三菱化學(xué)先進(jìn)材料研發(fā)團隊開發(fā)的頂級CMP材料，它的顏色為炭黑色，不透明。

·???????? 大大降低單片晶圓的成本

·???????? 性能超越PPS，在大多數(shù)工序中達(dá)到20倍

·???????? 高強度和剛度，帶來更少的邊緣損壞和更佳的一致性

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承圖塑料提醒注意事項：

了解所施的電壓如何影響某種材料的阻抗性，這點很重要。一些材料只能在低電壓下表現(xiàn)出較高的阻抗性，而電壓變大時，卻無法工作。這是由于介質(zhì)擊穿而不可逆轉(zhuǎn)。靜電有時可能達(dá)幾千伏，因此必須考慮材料在廣泛電壓范圍內(nèi)的性能一致性。

一些材料表現(xiàn)不一致，并且隨加工“紋理”變化而變化。

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